離子鍍不誘鋼膜因能有效地提高工件表面的抗蝕性能而日益受到人們的重視。全面了解整個膜層的微觀組織結構及相分布對研究膜層生長、相變及完善和改進工藝有重要的意義。對于膜層的微觀組織研究一般多采用平面膜。這種觀察方法有很大的局限性，不能對沉積過程中膜層內的組織結構、相分布有全面完整的觀察。

　透射電鏡進行橫截面觀察。以期了解從基體到膜層生長全貌及相組成，討論了形成原因。實驗選用鋼為基體，作為蒸鍍材料。將鍍好的試樣對接制成橫截面樣品。經機械減薄、化學減薄及離子減薄，最終制成直徑的透射電鏡樣品。、離子鍍不銹鋼橫截面微觀組織。其中區為鋼基體。整個鍍層分兩種形態不同的區域，通過電子衍射確定各區域相組成?？拷w的致密的細等軸晶，約，經電子衍射確定為固溶體。此區域的形成是由于沉積開始時，基體溫度較低，且表面缺陷較多，形核率較高，而到達基體的粒子數較少，生長率低，易形成細等軸晶。區為細纖維狀晶，一直延續到膜層表面，且有逐漸變粗趨勢。此區電子衍射結果表明，它是為主的固溶體并有少量的鐵素體所組成。生長到此區后，基體溫度升高，到達的粒子數增大，形核率減少。生長速率增大，出現細纖維狀形態。至于靠近基體處為何形成鐵素體，而遠離基體處卻形成以奧氏體為主的相區可能有以下兩個原因：微區成分不同。由于的飽和蒸氣壓高，易蒸發，因此蒸鍍初期膜層的含量較高。而為鐵素體形成元素，促進鐵素體形成。蒸鍍后期蒸發源中含有較多難以蒸發的，等元素，它們為奧氏體形成元素。有利于奧氏體的形成。由于基體鋼為鐵素體。因此靠近基體處形成鐵素體更有利于降低界面能。并于后一點我們將通過對比實驗進一步證明。此外，蒸鍍過程中溫度變化也可能是原因之一。